半導體電子超純水電阻率溶解氧標準及監測解決方案

2025.07.07　瀏覽量：288 次

在半導體和電子行業中，超純水的水質對生產過程和產品質量有著至關重要的影響。超純水的電阻率和溶解氧是衡量水質的關鍵指標，直接影響到半導體器件的制造和電子產品的性能。因此，嚴格遵守相關的水質標準并進行實時監測是確保生產順利進行和產品質量的重要保障，下面就和贏潤集團工作人員一起來了解一下吧！

根據《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導體行業超純水標準指南》，電子和半導體行業超純水水質的電阻率和溶解氧標準可以分為以下七個類型：

類型	電阻率 (MΩ·cm @ 25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	-
E-3	12	-
E-4	0.5	-

這些標準為半導體和電子行業提供了明確的水質要求，確保超純水在生產過程中能夠滿足高質量標準。

為了確保超純水的水質符合上述標準，贏潤集團研發生產的ERUN-SZ1S-A-A4水質電阻率在線監測分析儀和ERUN-SZ4-A-A5水質微量溶解氧在線分析儀，為超純水的實時監測提供了高效、可靠的解決方案。

ERUN-SZ1S-A-A4水質電阻率在線監測分析儀主要特點：
★高精度測量：采用先進的傳感器技術，確保測量結果的準確性和可靠性。
★實時監測：能夠連續實時在線監測超純水的電阻率，及時發現水質變化。
★數據傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485（ModBus-RTU）數字量信號遠程傳輸監控，方便用戶進行遠程監控和數據管理。
★防護等級高：設備具有 IP65 防護等級，能夠有效防止灰塵和水濺，適應各種復雜的工作環境。
★低功耗設計：采用低功耗設計，確保設備長時間穩定運行，減少維護成本。

ERUN-SZ4-A-A5水質微量溶解氧在線分析儀主要特點：
★高靈敏度檢測：采用先進的光學傳感器技術，能夠高靈敏度地檢測微量溶解氧。
★實時監測：能夠連續實時在線監測超純水中的溶解氧濃度，確保水質符合標準。
★數據傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485（ModBus-RTU）數字量信號遠程傳輸監控，方便用戶進行遠程監控和數據管理。
★防護等級高：設備具有 IP65 防護等級，能夠有效防止灰塵和水濺，適應各種復雜的工作環境。
★低功耗設計：采用低功耗設計，確保設備長時間穩定運行，減少維護成本。

贏潤集團的水質監測設備廣泛應用于以下領域：
▲半導體制造：在半導體制造過程中，實時監測超純水的電阻率和溶解氧，確保水質符合生產標準。
▲電子行業：在電子產品的生產過程中，監測超純水的水質，確保產品質量。
▲實驗室研究：為研究人員提供準確的水質監測數據，支持相關研究和開發工作。
▲工業生產：在其他需要高純水的工業生產中，監測水質，確保生產過程的順利進行。

在半導體和電子行業中，超純水的電阻率和溶解氧是關鍵的水質指標。通過嚴格遵守相關的水質標準并使用先進的監測設備，如贏潤集團的 ERUN-SZ1S-A-A4 水質電阻率在線監測分析儀和 ERUN-SZ4-A-A5 水質微量溶解氧在線分析儀，可以有效確保超純水的水質符合生產要求，保障生產過程的順利進行和產品質量。選擇合適的監測設備，讓水質管理變得更加智能、高效。