半導體行業涉及哪些有害氣體

2023.10.10　瀏覽量：738 次

半導體行業迅猛發展，在其生產過程中所需氣體使用量不斷加大，氣體品類更加多樣化，其中不乏一些易燃氣體以及對人體產生危害的有毒有害氣體，如何保證生產過程中的氣體使用安全，也是行業關注的焦點。半導體行業在生產、制造、工藝等方面或多或少都會涉及到易燃易爆、有毒有害氣體，為避免這些危險氣體泄漏等導致的事故，半導體行業用氣體檢測儀的使用不可或缺，下面一起看看半導體行業涉及哪些有害氣體？

半導體工業生產中涉及到有害氣體的過程主要有刻蝕、摻雜、外延沉積。蝕刻是指有選擇地從硅片上去除不需要的材料的過程，硅片蝕刻過程中涉及的氣體主要包括CF4、SF6、C2F6、NF3 ，以及氯基（Cl2）和溴基（Br2、HBr）氣體等，摻雜是指將雜質摻入半導體材料內，使材料具有一定的導電性，摻雜工藝涉及的氣體包括砷烷、磷烷、三氟化磷、三氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等氣體。外延沉積是為了在襯底晶圓上鍍上一層薄膜作為緩沖層阻止有害雜質進入硅襯底。常用的外延氣體有四氯化硅、二氯二氫硅、硅烷以及乙硅烷等。這些氣體部分易燃易爆、部分對人體有損傷，當然也存在即對人體有害又會燃燒爆炸的氣體。

半導體生產過程中涉及的這些危險氣體，一旦發生泄漏，哪怕是輕微泄漏都有可能帶來嚴重的財產和安全隱患，為減小或避免這些損失，需使用到氣體檢測儀。半導體行業用氣體檢測儀推薦使用由西安贏潤環保公司生產銷售的便攜式多參數氣體檢測儀ERUN-PG71S5，此款儀器能夠同時檢測1-5種氣體，若泄漏氣體達到報警限值時儀器第一時間就會發出報警信號，信號提示明顯清晰，有效確保人員安全。傳感器采用國際進口品牌，精度高、響應速度快、響應時間短。

半導體行業用氣體檢測儀技術參數
產品型號：ERUN-PG71S5
檢測氣體：砷烷、磷烷、三氟化磷、三氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等氣體
檢測原理：電化學、催化燃燒、紅外、熱導、半導體、PID光離子等（根據量程、現場環境和用戶需求而定）
檢測方式：泵吸式
檢測精度：≤±2%F.S（更高精度可訂制）
防護等級：IP65
防爆類型：本質安全型ExiaⅡCT4Ga

上述即為半導體行業涉及哪些有害氣體的相關介紹，半導體行業的相關人員應該在使用這些有害氣體前對這些氣體的危險情況加以了解，知道如何應對這些氣體泄漏的情況。在可能泄漏的環境中安裝使用半導體行業用氣體檢測儀，避免或減少這些氣體泄漏造成人身安全或財產的損失，保證生產過程的安全持續運行。

上一篇：食品行業水質應符合哪些要求？

下一篇：常規五參數對水質的影響